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WFS-100F吸附式local scrubber 尾氣處理設備

深圳沃飛科技有限公司專(zhuān)業(yè)研發(fā)設計制造高純工藝氣體系統電子特氣工藝尾氣處理設備local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾氣處理設備可處理氣體種類(lèi)包括半導體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

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深圳沃飛科技有限公司專(zhuān)業(yè)研發(fā)設計制造高純工藝氣體系統電子特氣工藝尾氣處理設備local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾氣處理設備可處理氣體種類(lèi)包括半導體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。