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半自動(dòng)VMB分配箱

半自動(dòng)分配箱(VMB):通過(guò)采用PLC控制,觸控屏為人機界面,通過(guò)設備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥等裝置,實(shí)現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿(mǎn)足了半導體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對高純介質(zhì)的連續供給和高純度的要求,同時(shí)也確保了工廠(chǎng)正常生產(chǎn)和員工人身安全。

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產(chǎn)品詳情

VMB閥門(mén)箱產(chǎn)品介紹:

VMB閥門(mén)分配箱,是一種內嵌多支路,實(shí)現高純氣體或液體分流的閥門(mén)箱。

VMB能讓高純原料從單一來(lái)源被分配到多點(diǎn)應用。對于每個(gè)使用點(diǎn),壓力可被單獨地調控,從而可同時(shí)滿(mǎn)足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無(wú)危險氣體泄漏的情況下安全地維

VMB的每一部份。除此以外,設備運行過(guò)程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進(jìn)行真空抽氣。


 半自動(dòng)VMB閥門(mén)箱介紹:

半自動(dòng)分配箱(VMB):通過(guò)采用PLC控制,通過(guò)設備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥等裝置,實(shí)現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿(mǎn)足了半導

體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對高純介質(zhì)的連續供給和高純度的要求,同時(shí)也確保了工廠(chǎng)正常生產(chǎn)和員工人身安全。

適用氣體:易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè):Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實(shí)驗室等。

面板基本配置:

    進(jìn)口手動(dòng)隔離閥
    進(jìn)口氣動(dòng)隔膜閥
    進(jìn)口壓力傳感器
    吹掃壓力表
    單向閥
    減壓器
    過(guò)濾器

面板可選配置

    真空發(fā)生器
    測試端口閥門(mén)