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電子特氣制備工藝系統要求

2023-04-20 08:58:33        0

電子特種氣體的生產(chǎn)過(guò)程包括合成、提純、灌裝、分析檢測、混合配比等多個(gè)工藝過(guò)程。為了滿(mǎn)足下游半導體制造對純度和雜質(zhì)含量的要求,提純工藝非常重要。根據上游合成氣或原料氣成分,進(jìn)行低溫精餾或多級提純。

潔凈度要求高

電子特種氣體的制備工藝可分為上游合成制備和提純兩大塊,屬于化工生產(chǎn)工藝。生產(chǎn)管道尺寸較大,無(wú)特殊潔凈等級要求。下游提純后,產(chǎn)品充入氣體,混合制備。生產(chǎn)管道小,有潔凈等級要求。它需要滿(mǎn)足半導體制造工藝的標準規范。

密封要求高

電子特種氣體因其具有化學(xué)活性,對生產(chǎn)工藝系統的材質(zhì)和密封性也有很高的要求。就像半導體制造的要求一樣,它可以防止雜質(zhì)的引入或特殊氣體腐蝕引起的界面泄漏。、燃燒爆炸、污染環(huán)境等危害。

高質(zhì)量穩定性要求

電子特種氣體的質(zhì)量包括純度、雜質(zhì)顆粒含量等多項指標。指標的任何變化都會(huì )影響下游半導體制造過(guò)程的結果。因此,為保證電子特氣產(chǎn)品指標的一致性,制備工藝系統控制指標的穩定性也非常重要。

<電子特氣制備工藝系統應用>

由于電子特氣的化學(xué)活性和質(zhì)量要求,電子特氣制備的生產(chǎn)系統,特別是下游凈化系統,必須滿(mǎn)足高純材料、高密封、高潔凈度和高質(zhì)量一致的要求和工程組件的構造要求符合半導體制造行業(yè)的標準。

我們通常所說(shuō)的“高純”,理論上是物質(zhì)純度的定義,如高純氣體、高純化學(xué)品等。應用于高純物質(zhì)的工藝系統或工藝系統部件也稱(chēng)為高純,如高純度系統和高純度閥門(mén)。電子特種氣體制備系統需要高純應用管件、閥門(mén)等流體元件,即采用高純材料和清潔制造工藝加工、結構易于吹掃和清洗的管件和閥門(mén)。具有較高的密封性能。這些流體元件根據滿(mǎn)足應用的工藝流路設計,采用半導體行業(yè)的工程建設要求,

高純管道連接

VCR金屬墊片面密封連接和自動(dòng)導軌對焊連接,由于既能滿(mǎn)足連接處流道的平滑過(guò)渡,無(wú)滯留區,又能保證高密封性能,廣泛應用于高要求的流體系統純度工藝要求。VCR 連接通過(guò)擠壓相對較軟的金屬墊圈形成狹窄的表面密封。每次拆卸和更換變形的墊片,都可以確保重復和一致的連接和密封性能。

油管采用自動(dòng)軌道焊接系統。管內外均設有高純氣體保護。鎢極沿軌道旋轉,實(shí)現高質(zhì)量焊接。全自動(dòng)軌道焊是在不引入其他材料的情況下對管材進(jìn)行熔化,通過(guò)反復控制薄壁管材實(shí)現高質(zhì)量焊縫是手工焊接難以實(shí)現的。

VCR 金屬墊片面密封連接

管道自動(dòng)軌道對焊連接


高純閥

易燃、易爆、腐蝕性、有毒的電子特種氣體的化學(xué)活性對閥門(mén)的密封性有較高的要求。為提高密封可靠性,要求采用無(wú)填料閥門(mén),以防止外泄漏,即開(kāi)關(guān)操作的閥桿與閥體之間的密封采用金屬波紋管或金屬膜片,以消除因磨損造成的泄漏和填料密封變形。由于密封件的可靠性更高以及閥門(mén)內部結構更容易清洗和吹掃更換,波紋管密封閥和隔膜密封閥通常用于高純度應用的工藝系統。

波紋管密封閥是一種無(wú)填料的針閥結構,可實(shí)現緩慢開(kāi)啟和調節流量。用于有安全流量要求的電子特種氣體灌裝或安全要求高的前體源瓶上。全金屬閥桿尖密封件可達到極低的工作溫度,用于低溫精餾后的成品罐低溫液化電子特種氣體輸送管道。

無(wú)彈簧隔膜密封閥是一種1/4"快開(kāi)閥,用于輸送管路中的自動(dòng)控制切換閥。由于其內部流路結構簡(jiǎn)單,內部容積小,吹掃更換方便,常用于超高壓高純度應用系統中。

與非彈簧隔膜密封閥相比,通過(guò)閥桿尖端關(guān)閉的隔膜密封閥可以緩慢打開(kāi),并在較高的工作壓力下使用。廣泛應用于高壓電子特種氣體灌裝或前體源瓶上。

二級密封波紋管閥不僅可以應用于-200度的超低溫工藝系統,而且可以防止危險介質(zhì)泄漏到大氣環(huán)境中。通常用于非常危險的電子特殊氣體,如硅烷填充系統。

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