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Scrubber尾氣處理系統

2019-12-10 12:01:59 0

深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬(wàn),是一家專(zhuān)業(yè)從事氣體應用系統工程:電子特氣管道系統、實(shí)驗室管道供氣系統、工業(yè)集中供氣系統、Local Scrubber尾氣處理系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學(xué)品輸送系統、純水系統,提供從技術(shù)咨詢(xún)、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場(chǎng)安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷(xiāo)售于一體的高新技術(shù)企業(yè);擁有GC2壓力管道安裝資質(zhì)、機電安裝工程承包資質(zhì)。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業(yè);為客戶(hù)提供高純工藝系統整體解決方案


Local Scrubber廢氣處理特性

半導體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:
1.易燃性氣體如SiH4、H2等
2.毒性氣體如AsH3、PH3等
3.腐蝕性氣體如HF、HCl等
4.溫室效應氣體如CF4、NF3等

由于以上四種氣體對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導體廠(chǎng)都以加裝大型中央廢氣處理系統.但此系統僅以水洗滌廢氣.故其應用范圍僅限于處理水溶性氣體,無(wú)法因應日新月異且分工細微的半導體工藝廢氣.因此必須依據各工藝所衍生出的氣體特性種類(lèi),選擇搭配相對應的廢氣處理設備,才能有效解決廢氣問(wèn)題.而由于工作區域多半離中央廢氣處理系統前,常因氣體特性導致管路中結晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導致氣體泄漏,嚴重者甚至引起爆炸,無(wú)法確?,F場(chǎng)工作人員之工作安全.因此在工作區域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設備(Local Scrubber),以減少在工作區域滯留的廢氣,確保人員安全。






半導體工藝廢氣處理方式
依據廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:
1、水洗式(處理腐蝕性氣體)
2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體
3、吸附式(干式)(依照吸附材種類(lèi)處理對應之廢氣)
4、等離子燃燒式(各類(lèi)型廢氣皆可處理)

Scrubber尾氣處理裝置可處理氣體種類(lèi)包括半導體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。