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BSGS大宗特氣系統

2019-12-10 11:48:07 0

深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬(wàn),是一家專(zhuān)業(yè)從事氣體應用系統工程:電子特氣管道系統、實(shí)驗室管道供氣系統、工業(yè)集中供氣系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學(xué)品輸送系統、純水系統,提供從技術(shù)咨詢(xún)、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場(chǎng)安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷(xiāo)售于一體的高新技術(shù)企業(yè); 榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)”認定并取得證書(shū)。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業(yè);為客戶(hù)提供高純介質(zhì)輸送系統全套解決方案。


大宗特氣系統(BSGS)作為半導體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的系統,高純氣體系統直接影響全廠(chǎng)生產(chǎn)的運行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而   言,集成電路芯片制造廠(chǎng)由于工藝技術(shù)難度更高、生產(chǎn)過(guò)程更為復雜,因而所需的氣體種類(lèi)更多、品質(zhì)要求更高、用量更大,也就更具代表性。,此系統是在氣柜基礎上開(kāi)發(fā)的,可以持續進(jìn)行超大流量不間斷供應的特氣供應系統.


大宗特氣系統(BSGS)的應用受益于污染控制的進(jìn)步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續性,降低了屢次充裝的污染風(fēng)險,其次在氣站建設時(shí)候做好每個(gè)獨立單元模塊的功能架構,使得大宗氣體也可以保持最高的純度。另外,液態(tài)氣體使用前的預熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。



大宗特氣供應系統(BSGS)采用全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器,可實(shí)現自動(dòng)切換,自動(dòng)氮氣吹掃,自動(dòng)真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;專(zhuān)用氮氣吹掃起源等等。

特種氣體采用獨立氣源,多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應,VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大,多采用獨立的氣體房,獨立的抽風(fēng)系統除了簡(jiǎn)單的供氣系統以外,特氣房一般都獨立于主場(chǎng)房而單獨建設,其規劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。

常規供氣系統一般也采用多種氣瓶柜共設在一個(gè)氣體室;而對于大宗特氣,會(huì )根據氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風(fēng),氣體房的選擇和設計一般由設計院完成。

組成大宗特氣供應系統(BSGS)主要適用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工廠(chǎng)特氣的集中供氣,本文重點(diǎn)以集成電路芯片制造廠(chǎng)為背景來(lái)闡述。

大宗特氣供氣系統的設計

首先必須根據工廠(chǎng)所需用氣量的情況,選擇最合理和經(jīng)濟的供氣方式。 氮氣的用量往往是很大的,根據其用量的不同,可考慮采用以下幾種方式供氣:

1)、液氮儲罐,用槽車(chē)定期進(jìn)行充灌,高壓的液態(tài)氣體經(jīng)蒸發(fā)器(Vaporizer)蒸發(fā)為氣態(tài)后,供工廠(chǎng)使用。一般的半導體工廠(chǎng)用氣量適中時(shí)這種方式較為合適,這也是目前采用最多的一種方式。

2)、采用空分裝置現場(chǎng)制氮。這適用于N2用量很大的場(chǎng)合。集成電路芯片制造廠(chǎng)多采用此方式供氣,而且還同時(shí)設置液氮儲罐作備用,氧氣和氬氣往往采用超低溫液氧儲罐配以蒸發(fā)器的方式供應, 氫氣則以氣態(tài)方式供應,一般采用鋼瓶組(Bundle)即可滿(mǎn)足生產(chǎn)要求。

如用氣量較大,則可采用Tube Trailer供氣,只是由于道路消防安全審批等因素,目前在國內還很少采用此方式。相信隨著(zhù)我國微電子工業(yè)的飛速發(fā)展,相關(guān)的安全法規會(huì )更完善,Tube Trailer供氣方式會(huì )被更多地采用。如果氫氣用量相當大,則需要現場(chǎng)制氫,如采用水電解裝置.

由于低溫液氦儲罐的成本相當昂貴,加以氦氣用量不大,氦氣一般采用鋼瓶組(Bundle)的形式供應即可滿(mǎn)足生產(chǎn)要求。隨著(zhù)大型集成電路廠(chǎng)越來(lái)越多地出現,氦氣的用量也逐漸上升,國外已開(kāi)始嘗試使用液氦儲罐,而且由于氦氣在低于-4500F時(shí)才是液體,此時(shí)所有雜質(zhì)在此液相中實(shí)際均已凝結在固體,理論上從該儲罐氣化的氮氣已是高純度,不用再經(jīng)純化處理。

隨著(zhù)國內半導體集成電路產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,將會(huì )出現一些半導體工廠(chǎng)較為密集的微電子生產(chǎn)園區,這時(shí)有可能采用集中的管道供氣方式,即由氣體公司在園區內建一大型氣站,將大宗氣體用地下管線(xiàn)送往各工廠(chǎng)。這種方式可以大大降低各廠(chǎng)的用地需求和用氣成本,形成氣體公司與半導體工廠(chǎng)多贏(yíng)的局面。