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電子特氣管道系統

2019-12-05 15:33:35 0

深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬(wàn),是一家專(zhuān)業(yè)從事氣體應用系統工程:電子特氣管道系統、實(shí)驗室管道供氣系統、工業(yè)集中供氣系統、Local Scrubber尾氣處理系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學(xué)品輸送系統、純水系統,提供從技術(shù)咨詢(xún)、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場(chǎng)安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷(xiāo)售于一體的高新技術(shù)企業(yè);擁有GC2壓力管道安裝資質(zhì)、機電安裝工程承包資質(zhì)。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業(yè);為客戶(hù)提供高純工藝系統整體解決方案。


特氣管道系統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的一些具有高危險性,應確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過(guò)程的設備、管道和部件的總稱(chēng),特氣系統工程是用于實(shí)現特氣系統安全使用的工程。公司提供從供氣系統;排氣處理、監視系統的綜合管理系統;建立以安全為第一的特氣管理輸送系統。提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務(wù)等整體解決方案。

特氣管道系統由儲存、輸送、分配、控制四類(lèi)設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管部分(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。


特氣管道系統特點(diǎn)
特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉,也可多臺設備用PLC或TGO連起來(lái)組成大系統,在監控中心統一監控管理,其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接?! ?/p>

電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過(guò)程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著(zhù)電路和器件的精確性和準確性。
適合場(chǎng)合
芯片半導體、微電子企業(yè)、光伏太陽(yáng)能、生物制藥、新材料等行業(yè),常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備